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馬鞍山新樺氣體有限公司

高純氣體管道配管技術及常見氣體種類介紹

信息來源:m.cnycht.com   2021-12-16 15:42:17

什么是高純氣體管道配管技術?所謂的高純氣體配管技術,是包括高純供氣系統的正確設計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等;是高純氣體供應系統的重要組成部分;是高純氣體穩定地輸送到用氣點,且符合設備使用要求的關鍵技術。

高純氣體

在電子工業中普通氣體,也稱大宗氣體(Bulkgas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等;除普通氣體外,電子工業還會用到大量的高純特種氣體(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。這些特殊氣體根據氣體性質,類別通常可分為腐蝕性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

半導體行業中使用的電子特種氣體,很多都是對人體有害的。比如,半導體制程工藝.常見的特種氣體:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦發生泄漏,它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應并開始燃燒。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有劇毒性,輕微的泄漏都可能對人們的生命造成傷害。正是由于這些明顯的危險,所以對于高純氣體供應系統設計的要求特別高。

高純氣體管道系統工程有著能氣體的純度、標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化等特點,廣泛應用于半導體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業。